ASTM F534-02a
ASTM F534-02a
- 标准号
- ASTM F534-02a
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F534-02a
- 引用标准
- ASTM F1390 ASTM F533 ASTM F657 ISO 14644-1
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖了在自由（非夹紧）条件下，抛光或未抛光的标称圆形硅片的平均弯曲量的测定。
1.2 该测试方法主要用于满足 SEMI 规范 M1 尺寸和公差要求的晶圆。
1.3 本测试方法也适用于直径≥25mm、厚度≤0.18mm的其他半导体材料（如砷化镓）或电子基板材料（如蓝宝石、钆镓石榴石）的圆形晶片。 ，直径与厚度之比最大为 250。待测试的晶片可以有一个或多个基准平面，前提是它们的定位方式使得切片可以在支撑基座上居中（见 7.1.2）而不会脱落。
1.4 以英寸-磅为单位的数值应被视为标准值。括号中给出的值仅供参考。
1.5 本标准无意解决与其使用相关的安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。