GB/T 20724-2021
微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction

GBT20724-2021, GB20724-2021


GB/T 20724-2021 中,可能用到以下仪器设备

 

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GB/T 20724-2021

标准号
GB/T 20724-2021
别名
GBT20724-2021
GB20724-2021
发布
2021年
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 20724-2021
 
 
引用标准
GB/T 18907-2013 GB/T 27418-2017 ISO 15932:2013
被代替标准
GB/T 20724-2006
本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。 本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。 注:由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀,用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

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