BS ISO 21466:2019
微束分析 扫描电子显微镜 CDSEM评估关键尺寸的方法
Microbeam analysis. Scanning electron microscopy. Method for evaluating critical dimensions by CDSEM
- 标准号
- BS ISO 21466:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 21466:2019
- 适用范围
- ISO 21466-CDSEM 是什么？ ISO 21466 指定了具有相关参数、文件格式和拟合程序的结构模型，用于通过基于模型的库 (MBL) 使用临界尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 进行成像来表征晶圆和光掩模的临界尺寸 (CD) 值） 方法。该方法适用于样品的线宽测定，例如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至 10 nm 的单个孤立或密集线特征图案。 ISO 21466 - CDSEM 适合谁？ ISO 21466 关于通过 CDSEM 评估关键尺寸的方法适用于：...的制造商
BS ISO 21466:2019相似标准
推荐
扫描电子显微镜是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描...
新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。 ...
扫描电子显微镜是利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品
此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。 由于透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的程度。 ...
怎么测量石墨烯膜折叠性能
显微镜法石墨烯的SEM,STM,TEM表征扫描电子显微镜，用一束高能量的聚焦电子束代替光来形成图像，可与能谱连用。可以获得形貌信息（物体的表面特征）、形态信息（构成物体的粒子的形状和大小）、组成信息（组成物体的元素和化合物以及他们的量）和晶体信息（原子在物体中的排列...
中科院上海硅酸盐研究所——透射电镜分析
设备功能： 主要用于无机材料微观结构与组成的分析和研究，仪器的功能包括： 电子衍射：选区衍射、微束衍射、会聚束衍射 成像：衍衬像（明、暗场像）、高分辨像 (HREM)、扫描透射像 (明场像、环状暗场像) 微区成分：EDS能谱的点、线和面分析 原位表征：温场下的结构演变 (加热样品杆附件：室温~1000°C) 应用范围 材料范围：除磁性材料之外的任何无机材料，包括粉体...