工程用钯电镀层的标准规范, 您可以免费下载预览页
金/钯靶:对于很多样品来说,金/钯(8: 2)靶现在是非常受欢迎的靶材选择。之所以选择这种合金是因为钯可以起到壁垒作用,防止金变成更大的岛状团簇,从而影响最分辨率。此外,钯所引起的二次电子产率损失也很难在电镜中观察到。溅射镀层厚度氩气环境,溅射电压 2.5 千伏,金/钯靶,样品靶材距离 50 毫米,溅射镀膜。...
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