GB/T 34894-2017
微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

GBT34894-2017, GB34894-2017


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GB/T 34894-2017

标准号
GB/T 34894-2017
别名
GBT34894-2017
GB34894-2017
发布
2017年
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 34894-2017
 
 

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