以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是:以动能为10~30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。...
电子探针X射线显微分析仪,简称电子探针。是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,并根据X射线的波长和强度,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理仪器。电子探针分析的原理是以电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。...
其方法是,先利用能发出荧光的材料(如ZrO2)置于电子束轰击下,这是就能观察到电子束轰击点的位置,通过样品移动装置把它调到光学显微镜目镜十字线交叉点上,这样就能保证电子束正好轰击在分析点上,同时也保证了分析点处于X射线分光谱仪的正确位置上。在电子探针上大多使用的光学显微镜是同轴反射式物镜,其优点是光学观察和X射线分析可同时进行。放大倍数为100-500倍。...
2.X射线谱仪 电子束轰击样品表面将产生特征X射线,不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。利用特征波长来确定元素的仪器叫做波长色散谱仪(波谱仪WDS),利用特征能量的就称为能量色散谱仪(能谱仪EDS)。电子探针的分析方法1.点分析:用于测定样品上某个指定点的化学成分。 2.线分析:用于测定某种元素沿给定直线分布的情况。 ...
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