DIN 50450-9 E:2020-11
半导体工艺材料测试 载气和掺杂气体杂质测定 第9部分：用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C₁-C₃-烃类含量

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydr

被代替

标准号

DIN 50450-9 E:2020-11

发布

1970年

发布单位

/

替代标准

DIN 50450-9:2021-07

当前最新

DIN 50450-9:2021-07

 

 

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