T/QDAS 094-2022
二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

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标准号

T/QDAS 094-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/QDAS 094-2022

 

 

适用范围

本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。 本文件适用于采用二极管（包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等）湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制。

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