ISO 13083:2015
表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准
Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
- 标准号
- ISO 13083:2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 13083:2015
- 引用标准
- ISO 18115-2:2013 ISO 18516:2006
- 适用范围
- 该国际标准描述了测量扫描电容显微镜（SCM）或扫描扩散电阻显微镜（SSRM）空间（横向）分辨率的方法，这些显微镜广泛用于半导体器件中载流子分布和其他电特性的成像。 该方法涉及使用锋利的人工制品。
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