找不到引用ISO 13083:2015 表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准 的标准
在半导体制造中,SCM提供有助于故障分析和设计改进的掺杂剂分布。此外,Park的新QuickStep SCM模式提供了半导体器件结构的精确掺杂剂分布,比其他的SCM原子力显微镜系统快五到十倍。它在保证最快扫描速度的同时,且不会影响信号灵敏度、空间分辨率或数据精度。SCM 提供了测量定性二维掺杂剂分布的独特能力。...
SEM的主要工作原理: 电子枪透过热游离或是场发射原理产生高能电子束,经过电磁透镜组后,可以将电子束聚焦至试片上,利用扫描线圈偏折电子束,在试片表面上做二度空间的扫描。当电子束与试片作用时,会产生各种不同的讯号,如二次电子、背向散射电子、吸收电子、欧杰电子、特微X光等。在一般扫描式电子显微镜侦测系统上,主要为侦测二次电子及背向散射电子成像,这些讯号经过放大处理后即可成像观察。...
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