ISO 13083:2015由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2015-08。
ISO 13083:2015在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
该国际标准描述了测量扫描电容显微镜(SCM)或扫描扩散电阻显微镜(SSRM)空间(横向)分辨率的方法,这些显微镜广泛用于半导体器件中载流子分布和其他电特性的成像。 该方法涉及使用锋利的人工制品。
在半导体制造中,SCM提供有助于故障分析和设计改进的掺杂剂分布。此外,Park的新QuickStep SCM模式提供了半导体器件结构的精确掺杂剂分布,比其他的SCM原子力显微镜系统快五到十倍。它在保证最快扫描速度的同时,且不会影响信号灵敏度、空间分辨率或数据精度。SCM 提供了测量定性二维掺杂剂分布的独特能力。...
SEM的主要工作原理: 电子枪透过热游离或是场发射原理产生高能电子束,经过电磁透镜组后,可以将电子束聚焦至试片上,利用扫描线圈偏折电子束,在试片表面上做二度空间的扫描。当电子束与试片作用时,会产生各种不同的讯号,如二次电子、背向散射电子、吸收电子、欧杰电子、特微X光等。在一般扫描式电子显微镜侦测系统上,主要为侦测二次电子及背向散射电子成像,这些讯号经过放大处理后即可成像观察。...
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