ISO 18516:2006
表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
- 标准号
- ISO 18516:2006
- 发布
- 2006年
- 中文版
- GB/T 28632-2012 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 18516:2019
- 当前最新
- ISO 18516:2019
- 引用标准
- ISO 18115:2001
- 适用范围
- 本国际标准描述了在规定设置下测量俄歇电子能谱仪和 X 射线光电子能谱仪可实现的横向分辨率的三种方法。 直尺法适用于横向分辨率预计大于 1 µm 的仪器。 如果横向分辨率预计小于 1 µm 但大于 20 nm，则网格法适用。 金岛方法适用于横向分辨率预计小于 50 nm 的仪器。 附件 A、B 和 C 提供了横向分辨率测量的说明性示例。
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ISO 18516:2006 中可能用到的仪器设备
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