AS ISO 14644.2:2017
洁净室和相关受控环境 第 2 部分:通过监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据(按颗粒浓度)

Cleanrooms and associated controlled environments, Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration


标准号
AS ISO 14644.2:2017
发布
2017年
发布单位
澳大利亚标准协会
当前最新
AS ISO 14644.2:2017
 
 
适用范围
采用 ISO 14644-2:2015,根据测量或影响空气颗粒浓度的参数,规定与颗粒浓度空气清洁度相关的洁净室或洁净区性能监测计划的最低要求。

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