ISO 23420:2021
微束分析.分析电子显微镜.电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法
Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis
- 标准号
- ISO 23420:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 23420:2021
- 适用范围
- 本文件规定了扫描透射电子显微镜或配备电子能量损失（EEL）能谱仪的透射电子显微镜能量分辨率的测定程序。 本文件适用于柱内式EEL光谱仪和柱后式EEL光谱仪。 这些EEL信号检测系统适用于并行检测系统和串行检测系统。
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