SEM,EDS,XRD的区别,SEM是扫描电镜,EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。...
STEM分析图 入射电子束照射试样表面发生弹性散射,一部分电子所损失能量值是样品中某个元素的特征值,由此获得能量损失谱(EELS),利用EELS可以对薄试样微区元素组成、化学键及电子结构等进行分析。 ...
用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。 分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。 ...
[点击图片可在新窗口打开] 图 5 电子能量损失谱 EELS 原理 在 EELS 谱图中, 除了几个电子伏特的化学位移,同一种元素的电离损失峰的能量坐标总是近似相同的,因此,通过标定电离损失峰的能量坐标,即可定性地分析样品所含的元素。然后通过测量元素的电离损失峰曲线下扣除背底后的面积,即该元素的电离损失峰的总强度IK ,可对该元素的含量进行定量分析。...
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