GB/T 43493.2-2023
半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第2部分：缺陷的光学检测方法

Non-destructive testing and identification criteria for defects in silicon carbide homoepitaxial wafers for power devices of semiconductor devices Part 2: Optical detection method of defects

GBT43493.2-2023, GB43493.2-2023

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标准号: GB/T 43493.2-2023
别名: GBT43493.2-2023, GB43493.2-2023
发布: 2023年
发布单位: 国家质检总局
当前最新: GB/T 43493.2-2023

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