在近完整晶体中，缺陷、畸变等体现在X 射线谱中只有几十弧秒，而半导体材料进行 外延生长要求 晶格失配要达到10-4或更小。这样精细的要求使 双晶X射线衍射技术成为近代光电子材料及器件研制的必备测量仪器，以双晶衍射技术为基础而发展起来的四晶及五晶衍射技术（亦称为双晶衍射），已成为近代X射线衍射技术取得突出成就的标志。但 双晶衍射仪的第二晶体最好与第一晶体是同种晶体，否则会发生 色散。...
可调止动器允许测量方位角，例如晶片的平面或凹口。图3 桌面型全自动晶体取向定向仪图4另一种类型的装置，可以用于测量更大的晶体，并且可以配备有用于任何形状和锭的晶体束的调节装置，用于测量涡轮叶片、碳化硅晶圆蓝宝石晶圆等数百种晶体材料。为了能够测量不同的材料和取向，X射线管和检测器可以使用相应的圆圈来移动。这也允许常规衍射测量。因此，Omega扫描测量可以与摇摆曲线扫描相结合，用于评估晶体质量。...
高分辨X射线衍射测量摇摆曲线是一种用于表征单晶衬底片或外延材料的晶体质量的常用技术。在不同相对强度下的摇摆曲线的宽度，如半峰宽值（FWHM），反应了被测材料的结晶质量。较宽的半峰宽值表明材料结晶质量下降，存在更多的缺陷；多峰则表明测量区域内存在不同晶格取向的区域。JV-QCVelox高分辨X射线衍射仪（图2b），可针对衬底片进行摇摆曲线的全自动化量测、采集、以及数据处理。...
广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域三、X射线衍射仪"可分为"X射线粉末衍射仪"和"X射线单晶衍射仪器".由于物质要形成比较大的单晶颗粒很困难。所以目前X射线粉末衍射技术是主流的X射线衍射分析技术。单晶衍射可以分析出物质分子内部的原子的空间结构。粉末衍射也可以分析出空间结构。但是大分子（比如蛋白质等）等复杂的很难分析。X射线粉末衍射可以1，判断物质是否为晶体。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号