GB/T 15615-1995
硅片抗弯强度测试方法

Test method for measuring flexture strength of silicon slices

GBT15615-1995, GB15615-1995

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标准号

GB/T 15615-1995

别名

GBT15615-1995, GB15615-1995

发布

1995年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 15615-1995

 

 

适用范围

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）的抗弯强度测试方法。 本标准适用于晶向为<111>和<100>的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。

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