DIN 50443-1-1988
半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性

Testing of materials for use in semiconductor technology; detection of crystal defects and inhomogeneities in silicon single crystals by X-ray topography


DIN 50443-1-1988 发布历史

This standard determines the methods for the recognition of defects and inhomogeneities in semiconductor silicon single crystals by x-ray topography.

DIN 50443-1-1988由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1988-07。

DIN 50443-1-1988 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50443-1-1988的历代版本如下:

  • 1988年07月 DIN 50443-1-1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性

DIN 50443-1-1988



标准号
DIN 50443-1-1988
发布日期
1988年07月
实施日期
废止日期
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
DE-DIN
适用范围
This standard determines the methods for the recognition of defects and inhomogeneities in semiconductor silicon single crystals by x-ray topography.




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