DIN 50452-1-1995
半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles
说明：
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- 标准号
- DIN 50452-1-1995
- 发布日期
- 1995年11月
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- DE-DIN
- 被代替标准
- DIN 50452-1-1988
- 适用范围
- This method cover the determination of the concentration of particulate matter contamination from liquids isolated on a membrane filter by microscopic counting. The scope is limited to sizing particles of 5 ?and more.