DIN 50453-2-1990
半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第2部分:二氧化硅涂层.光学法
Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium-dioxid coating; optical method
- 标准号
- DIN 50453-2-1990
- 发布日期
- 1990年10月
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H82
- 发布单位
- DE-DIN
- 适用范围
- The standard defines the test method for the determination of etch rates of etch mixtures on siliciumdioxid coatings.