DIN 50453-1-1990
半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method

标准号

DIN 50453-1-1990

发布日期

1990年10月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

DE-DIN

DIN 50453-1-1990系列标准