DIN 50437-1979
半导体无机材料的试验.用红外线干涉法测量硅外延生长层的的厚度

Testing of semi-conductive inorganic materials; measuring the thickness of silicon epitaxial layer thickness by infrared interference method

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标准号

DIN 50437-1979

发布日期

1979年06月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

适用范围

Testing of semi-conductive inorganic materials; measuring the thickness of silicon epitaxial layer thickness by infrared interference methodEssais des matériaux semi-conducteurs minéraux; mesure de l'épaisseur des depots epitaxiques de silicium au moyen