DIN 50438-2:1982
半导体工艺材料的检验.第2部分:用红外线吸收法测量硅中杂质含量.碳

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurty content in silicon by infrared absorption; carbon

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标准号: DIN 50438-2:1982
发布: 1982年
发布单位: 德国标准化学会
当前最新: DIN 50438-2:1982

适用范围: 半导体技术材料测试；红外吸收法测定硅中杂质含量；半导体技术的碳材料测试；硅中杂质含量的测定

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