GB/T 12963-1996
硅多晶
Polycrystalline silicon
GBT12963-1996, GB12963-1996
2010-06
- 标准号
- GB/T 12963-1996
- 别名
- GBT12963-1996, GB12963-1996
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 12963-2009
- 当前最新
- GB/T 12963-2022
- 适用范围
- 本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于以三氯氢硅四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。