DIN 50450-4:1993
半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C1-C3-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography
DIN 50450-4:1993 发布历史
DIN 50450-4:1993由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1993-09。
DIN 50450-4:1993 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
DIN 50450-4:1993的历代版本如下：
- 1993年 DIN 50450-4:1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
本文件规定了测定氮气中 CC 烃体积分数的方法，范围在 0.2 至 10 µl 之间。
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