DIN 50450-4:1993
半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C1-C3-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography
- 标准号
- DIN 50450-4:1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50450-4:1993
- 适用范围
- 本文件规定了测定氮气中 CC 烃体积分数的方法，范围在 0.2 至 10 µl 之间。
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