GB/T 14140.2-1993
硅片直径测量方法 千分尺法已作废

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method

GB/T 14140.2-1993 发布历史

本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ25～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。

GB/T 14140.2-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06，并于 1993-10-01 实施，于 2010-06-01 废止。

GB/T 14140.2-1993 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法，在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。

GB/T 14140.2-1993的历代版本如下：

• 1993年02月06日 GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法

GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法。

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标准号

GB/T 14140.2-1993

发布日期

1993年02月06日

实施日期

1993年10月01日

废止日期

2010-06-01

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040.01

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 14140-2009

适用范围

本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ25～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。

GB/T 14140.2-1993系列标准

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