GB/T 14140.1-1993
硅片直径测量方法 光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
GBT14140.1-1993, GB14140.1-1993
2010-06
- 标准号
- GB/T 14140.1-1993
- 别名
- GBT14140.1-1993, GB14140.1-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14140-2009
- 当前最新
- GB/T 14140-2009
- 适用范围
- 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ40～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。 本标准用作仲裁测量方法。
GB/T 14140.1-1993相似标准
推荐
纤维细度仪是将计算机软件识别技术与显微镜技术相结合
(3)光学测量法 包括光学投影测量纤维直径、液体分散法测量单根纤维直径以及气流分散法测量单根纤维直径等。 (4)单根纤维振动法 测试单根纤维的线密度(dtex)，是国际化学纤维标准化局(BISFA)推荐的测试方法。 ...
激光测径仪的用途及优点
测径仪大至分激光扫描测径仪，CCD投影测径仪，激光衍射测径仪，其中前两者都属光学的几何原理，后者为利用光学的波动原理。 ...
激光测长机的分类介绍
测径仪大至分激光扫描测径仪，CCD投影测径仪，激光衍射测径仪，其中前两者都属光学的几何原理，后者为利用光学的波动原理。...
激光测径仪的分类
测径仪大至分激光扫描测径仪，CCD投影测径仪，激光衍射测径仪，其中前两者都属光学的几何原理，后者为利用光学的波动原理。...