DIN 50441-2:1998
半导体工艺材料的试验.半导体芯片几何尺寸的测量.第2部分:棱角剖面的试验

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile

作废

DIN 50441-2:1998 发布历史

DIN 50441-2:1998由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1998-11。

DIN 50441-2:1998 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50441-2:1998的历代版本如下：

• 1998年 DIN 50441-2:1998 半导体工艺材料的试验.半导体芯片几何尺寸的测量.第2部分:棱角剖面的试验

该文件规定了确定半导体晶圆边缘轮廓的四种测试方法。 三种方法基于光学投影，第四种方法规定通过测量显微镜测定轮廓长度。

标准号

DIN 50441-2:1998

发布

1998年

发布单位

德国标准化学会

当前最新

DIN 50441-2:1998

 

 

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