JIS B9924-1990
表面粒子计数器

Surface particle counters

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：JIS B9924-1990 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

 

 

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标准号
JIS B9924-1990
发布日期
1990年03月01日
实施日期
废止日期
无
中国标准分类号
A28
国际标准分类号
19.120
发布单位
JP-JISC
适用范围
この規格は，鏡面状平面基板（以下，ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質（以下，粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下，計数器という。)について規定する。


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