この規格は,鏡面状平面基板(以下,ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質(以下,粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下,計数器という。)について規定する。
JIS B9924-1990由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 1990-03-01。
JIS B9924-1990 在中国标准分类中归属于: A28 筛分、筛板与筛网,在国际标准分类中归属于: 19.120 粒度分析、筛分。
非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 JIS B9924-1990 前三页,或者稍后再访问。
点击下载后,生成下载文件时间比较长,请耐心等待......
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号