JIS B9924-1990
表面粒子计数器

Surface particle counters


JIS B9924-1990 发布历史

この規格は,鏡面状平面基板(以下,ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質(以下,粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下,計数器という。)について規定する。

JIS B9924-1990由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 1990-03-01。

JIS B9924-1990 在中国标准分类中归属于: A28 筛分、筛板与筛网,在国际标准分类中归属于: 19.120 粒度分析、筛分。

JIS B9924-1990的历代版本如下:

 

 

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标准号
JIS B9924-1990
发布日期
1990年03月01日
实施日期
废止日期
中国标准分类号
A28
国际标准分类号
19.120
发布单位
JP-JISC
适用范围
この規格は,鏡面状平面基板(以下,ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質(以下,粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下,計数器という。)について規定する。




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