ISO 14644-14:2016
洁净室和相关控制环境.第14部分：通过空气中颗粒浓度对设备使用适宜性的评估
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
- 标准号
- ISO 14644-14:2016
- 发布
- 2016年
- 中文版
- GB/T 25915.14-2022 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-14:2016
- 引用标准
- AIR 1167 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9:2012 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926:1991 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083 Blatt 9.1-2006
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