DIN EN ISO 14644-8:2007
洁净室及其控制环境.第8部分:空气分子污染物的分类
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination (ISO 14644-8:2006); English version of DIN EN ISO 14644-8:2007-04
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-8:2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-8:2013
- DIN EN ISO 14644-8 E:2011-09
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-8:2022-10
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分涵盖了洁净室和相关受控环境中空气分子污染 (AMC) 的分类，包括特定化学物质（个体、群体或类别）的空气浓度，并提供了包括测试方法、分析和时间的协议分类规范内的加权因素。 ISO 14644 的这一部分目前仅考虑洁净室操作条件下 AMC 的浓度在 10 至 10g/m 之间。 ISO 14644 的这一部分与那些空气中分子物质的存在不被视为对产品或过程构成风险的行业、过程或生产中的应用无关。 ISO 14644 这一部分的目的不是描述空气中分子污染物的性质。 ISO 14644 的这一部分没有给出表面分子污染的分类。
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