摘要 展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和 TSV 等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS 、 MMIC 及 MEMS 多种不同材料器件集成。...
封装效率高、产品上市周期短、兼容性好、降低系统成本、物理尺寸小、电性能高、低功耗、稳定性好、应用广泛,这叫各产业如何无法抗拒SiP的诱惑?SiP技术是多年来一直存在的技术之延伸。奠基于现有如倒装芯片flipchip、晶圆凸块waferbumping、引线接合wirebonding和扇形晶圆级封装fan-outwafer-levelpackaging等的封装技术。...
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