但铍窗口也有缺点，即不能让波长大于6埃的光通过，是故连带的也就限制所能分析的最轻元素，因此所能分析的最轻元素的原子序为大于6，故半导体产业及生物科技产业感兴趣的碳、氧、氮等元素，也可以用XRF来分析。 原理 （XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X 射线（一次射线），激励被测样品。样品中的每一种元素会放射出的二次X射线，并且不同的元素所放出的二次射线具有特定的能量特性。...
微 X 射线荧光 (µXRF) 是一种元素分析技术，它允许检测非常小的样品区域。与传统的 XRF 仪器一样，微 X 射线荧光通过使用直接 X 射线激发来诱导来自样品的特性 X 射线荧光发射，以用于元素分析。与传统 XRF 不同（其典型空间分辨率的直径范围从几百微米到几毫米），µXRF 使用 X 射线光学晶体来限制激发光束尺寸或将激发光束聚焦到样品表面上形成小光斑，从而可以分析样品上的小特性。...
EDXRF 系统的主要优点是简单、快速、无运动部件和较高的源效率。 X 射线光学晶体可用于增强 EDXRF 仪器。对于常规 XRF 仪器，样品表面典型焦斑尺寸的直径范围从几百微米到几毫米不等。多毛细管聚焦光学晶体从发散 X 射线源收集 X 射线，并将它们引导至样品表面上形成直径小到几十微米的小聚焦光束。...
能谱色散型X荧光光谱仪（ED-XRF），用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线（荧光）直接进入半导体探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析。 由于普通能量色散X荧光采用低功率X射线管，又采用滤光片扣除背景和干扰，其背景偏高，分辨率偏小，使得应用范围受到限制，特别是在轻元素的分析受到限制。...
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