真空计或分压计在工业的诸多领域内用于过程控制,特别是在半导体工业。电离真空计用于高真空和超高真空范围内的现场校准和监测。这些器件的原理是利用快速电子对气体分子进行电离,然后测量产生的离子电流。为了实现溯源,传统的电离真空计不仅必须对氮气进行单独校准,而且还必须对每种情况下使用的气体进行单独校准,因为对特定类型气体的灵敏度取决于所使用的单个器件。...
此次修订增加了0.01级准确度等级以及相应的技术指标等内容。 电离真空计是真空测量仪器。此次修订发布的电离真空计校准规范适用于测量范围在1×10-9 Pa — 1×102 Pa的电离真空计校准。电离真空计广泛应用于航天、电子、重离子加速器、核聚变、芯片生产等领域,其量值的准确有利于科研的开展和产品质量的提升。 ...
校准电离真空计时,应注意以下六点: (1)一般情况下,规管和系统连接时,先将未开封的规管和测量电路连接到一起试一下,检查规管是否正常,然后再接到系统。 (2)在校准的过程中,如果出现故障,在原因不明的情况下,拿一支未开封的规管试一下,判断是规管的问题,还是电路的问题。如果换上未开封的规管一切正常,说明原规管有问题;如果换上未开封的规管仍然不正常,说明电路有问题,这样就缩小了故障的范围。 ...
(校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa),按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0^-1Pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。 校准完零点后,需对其满度校正。...
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