IS 8280-1976由IN-BIS 发布于 1977-3-1。
IS 8280-1976 电离真空计的校准方法的最新版本是哪一版?
最新版本是 IS 8280-1976 。
1.1 本标准规定了通过与参考真空计直接比较来校准电离真空计的方法。该方法适用于以下公认类型的电离真空计: a) 各种型号的热阴极真空计, b) 三极管型真空计, c) 贝亚德-阿尔珀特真空计(包括精细收集器真空计), d) 调制贝亚德真空计-Alpert 真空计,e) 隐藏式收集器或提取 Bayard-Alpert 真空计,f) 离子束偏向真空计,g) 热阴极磁控管,h) Orbitron 型真空计,j) 可能包括非常不同结构的冷阴极真空计,k) ) 带有电离粒子放射源的真空计,以及 m) 所谓的“高压”热阴极电离真空计。
1.1.1 每种类型的仪表一般都对应于制造商规定的应用领域,并应参考制造商的说明书。
1.1.2 该方法不限于特定的压力范围,但其应用限制由所使用的压力表和兼容的测量设备决定。
此次修订增加了0.01级准确度等级以及相应的技术指标等内容。 电离真空计是真空测量仪器。此次修订发布的电离真空计校准规范适用于测量范围在1×10-9 Pa — 1×102 Pa的电离真空计校准。电离真空计广泛应用于航天、电子、重离子加速器、核聚变、芯片生产等领域,其量值的准确有利于科研的开展和产品质量的提升。 ...
真空计或分压计在工业的诸多领域内用于过程控制,特别是在半导体工业。电离真空计用于高真空和超高真空范围内的现场校准和监测。这些器件的原理是利用快速电子对气体分子进行电离,然后测量产生的离子电流。为了实现溯源,传统的电离真空计不仅必须对氮气进行单独校准,而且还必须对每种情况下使用的气体进行单独校准,因为对特定类型气体的灵敏度取决于所使用的单个器件。...
校准电离真空计时,应注意以下六点: (1)一般情况下,规管和系统连接时,先将未开封的规管和测量电路连接到一起试一下,检查规管是否正常,然后再接到系统。 (2)在校准的过程中,如果出现故障,在原因不明的情况下,拿一支未开封的规管试一下,判断是规管的问题,还是电路的问题。如果换上未开封的规管一切正常,说明原规管有问题;如果换上未开封的规管仍然不正常,说明电路有问题,这样就缩小了故障的范围。 ...
(校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa),按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0^-1Pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。 校准完零点后,需对其满度校正。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号