ISO 5302-2003
真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics
- 标准号
- ISO 5302-2003
- 发布日期
- 2003年07月
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 引用标准
- ISO 3529-2
- 被代替标准
- ISO/DIS 5302-2002
- 适用范围
- 本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法，它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括： a) 带机械或磁轴承的； b) 带或不带附加牵引级的。 注：由于涡轮分子泵需要前级泵支持，下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充，以完全确定其性能： 一流量曲线； 一——压缩比曲线； 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。