ISO 5302-2003
真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量

Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics


ISO 5302-2003 发布历史

本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括: a) 带机械或磁轴承的; b) 带或不带附加牵引级的。 注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能: 一流量曲线; 一——压缩比曲线; 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。

ISO 5302-2003由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2003-07。

ISO 5302-2003 在中国标准分类中归属于: J78 真空技术与设备,在国际标准分类中归属于: 23.160 真空技术。

ISO 5302-2003 发布之时,引用了标准

  • ISO 3529-2 真空技术 - 词汇 - 第2部分:真空泵及相关术语*2020-02-25 更新

* 在 ISO 5302-2003 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。

ISO 5302-2003的历代版本如下:

  • 2003年07月 ISO 5302-2003 真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量

ISO 5302-2003



标准号
ISO 5302-2003
发布日期
2003年07月
实施日期
废止日期
中国标准分类号
J78
国际标准分类号
23.160
发布单位
国际标准化组织
引用标准
ISO 3529-2
被代替标准
ISO/DIS 5302-2002
适用范围
本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括: a) 带机械或磁轴承的; b) 带或不带附加牵引级的。 注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充,以完全确定其性能: 一流量曲线; 一——压缩比曲线; 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。

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