众所周知粉尘检测仪和粒子计数器虽然都可以用光散射法原理,但是粒子计数器是用于洁净室里,而粉尘仪主要是用来测大气环境。为什么会这样呢?我们可以通过两种光散射的原理来判断。粉尘检测仪通过采气泵将待测气溶胶吸入检测舱,待测气溶胶在分支处分流成为两部分,一部分经过一个高效过滤器后被过滤为干净的空气,作为保护鞘气来保护传感器室的元器件不受待测气体污染。另一部分气溶胶,作为待测样品直接进入传感器室。...
芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。...
这无疑是加大了对洁净室环境和设备粒子控制以及检测仪器的要求。4.30中提到:对于洁净室的分类,可以在ISO 14644第1部分中找到最少的采样数量及其位置。此外,对于无菌加工区和背景环境(分别为A级区域和B级区域),采样位置还应考虑所有关键的加工区域,例如灌装点和加塞点。关键加工位置应基于文件化的风险评估以及对该区域要执行的工艺和操作的了解。...
最后,本文结果表明,洁净室环境能够动态影响FOUP内部的污染物控制,具有良好阻隔特性的FOUP和吹扫功能,能够更好地保护晶圆不受AMC污染。参考文献:Solid State Phenomena (Volume 346), Aug 2023, https://doi.org/10.4028/p-NK8tbD...
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