GB/T 17473.3-2008
微电子技术用贵金属浆料测试方法.方阻测定

Test method of precious metals pastes used for microelectronics.Determination of sheet resistance


GB/T 17473.3-2008 中,可能用到以下仪器设备

 

安东帕CAT/CATi 涂层(镀层)膜厚测试仪

安东帕CAT/CATi 涂层(镀层)膜厚测试仪

安东帕(上海)商贸有限公司

 

安东帕CATc 紧凑型球磨测厚仪

安东帕CATc 紧凑型球磨测厚仪

安东帕(上海)商贸有限公司

 

F32 薄膜厚度测量仪

F32 薄膜厚度测量仪

优尼康科技有限公司

 

Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪

Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪

优尼康科技有限公司

 

F10-RT 薄膜厚度测量仪

F10-RT 薄膜厚度测量仪

优尼康科技有限公司

 

FT160 XRF 镀层分析仪

FT160 XRF 镀层分析仪

日立分析仪器(上海)有限公司

 

GB/T 17473.3-2008



标准号
GB/T 17473.3-2008
发布日期
2008年03月31日
实施日期
2008年09月01日
废止日期
中国标准分类号
H68
国际标准分类号
77.120.99
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 8170
被代替标准
GB/T 17473.3-1998
适用范围
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测定方法。 本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。

GB/T 17473.3-2008系列标准


GB/T 17473.3-2008 中可能用到的仪器设备


谁引用了GB/T 17473.3-2008 更多引用





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