ASTM F1259M-96
检测由电迁移造成的喷镀金属开路或阻力增加失效率用的平板、直线试验结构设计的标准指南(米制单位)

Standard Guide for Design of Flat, Straight-Line Test Structures for Detecting Metallization Open-Circuit or Resistance-Increase Failure Due to Electromigration [Metric]

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标准号

ASTM F1259M-96

发布

1996年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1259M-96(2003)

当前最新

ASTM F1259M-96(2003)

 

 

适用范围

1.1 本指南涵盖了加速应力测试中使用的测试结构的推荐设计特征，如测试方法 F 1260 中所述，以表征因电迁移而失效的互连金属化的失效分布。
1.2 本指南仅限于平面上有直测试线的结构，用于检测由于测试线开路或电阻百分比增加而导致的故障。
1.3 本指南不适用于测试宽度大约等于或小于金属化线中金属颗粒的估计平均尺寸的金属线。
1.4 本指南不适用于用于检测金属化线中随机缺陷的测试结构。
1.5 经测试和表征的金属化是用于微电子电路和器件的金属化。

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