ASTM F2358-04
蓝宝石衬底的特征测量标准指南

Standard Guide for Measuring Characteristics of Sapphire Substrates

作废

标准号

ASTM F2358-04

发布

2004年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F2358-04

 

 

适用范围

本指南中描述的测量可以显着影响蓝宝石基板的功能。自由状态下形状误差过大的基材可能会导致生产中的加工错误。基材的约束状态旨在尽可能接近地模拟基材在其预期用途之一中将采取的形式。在加工过程中，有时通过真空或粘附到平坦表面，将基板的一个表面强制限制为平坦状态。夹紧状态下的测量旨在模拟当背面约束于参考平面时基板正面的形状。夹紧状态下的形状可能对基材在使用中的性能产生直接影响。用户应确定无约束或约束测量是否与应用最相关，并相应地指定适当的参数。了解这些特性可以帮助生产商和消费者确定样本基材的尺寸特性是否满足给定的几何要求。本指南适用于切片、研磨、抛光或其他状态下的蓝宝石衬底。有关基板规格，请参阅 SEMI M3。在确定本指南的计划实验室间评估结果之前，不建议将本指南用于商业交易，除非测试各方确定可以获得的相关程度。
1.1 本指南涵盖了确定1.2 本指南适用于直径 25 mm 或更大、最小厚度为 100 956;m 的衬底。本指南与表面光洁度无关。
1.3 本指南中描述的测量可应用于基材的整个整体表面，或较小的局部区域。
1.4 本指南中描述的测量值将受到边缘排除（即被忽略的部分周边区域）。排除的数量应由使用本标准的生产者和消费者商定。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定法规要求的适用性。

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