ASTM E1505-92(1996)
根据离子移植外标物测定 SIMS 有关敏感因素的标准指南

Standard Guide for Determining SIMS Relative Sensitivity Factors from Ion Implanted External Standards

被代替

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标准号

ASTM E1505-92(1996)

发布

1992年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E1505-92(2001)

当前最新

ASTM E1505-92(2001)

 

 

适用范围

1.1 本指南的目的是为二次离子质谱 (SIMS) 分析人员提供两种程序，用于根据离子注入的外部标准确定相对灵敏度因子 (RSF)。本指南可用于获取微量元素（1 原子%）的 RSF。此外，本指南不描述从异质（横向或深度）样本中的种植体获取 RSF 的程序。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准。
1.4 本标准并不旨在解决所有问题与其使用相关的安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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