根据离子移植外标物测定 SIMS 有关敏感因素的标准指南, 您可以免费下载预览页
1国家标准《氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法》编制说明(预审稿)一、工作简况1.立项的目的和意义GaN材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点,是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,并与SiC、金刚石等半导体材料一起,被誉为是继第一代Ge、Si半导体材料、第二代GaAs、InP化合物半导体材料之后的第三代半导体材料。...
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