JIS B 8328:2009
真空技术.涡轮分子泵.性能特性的测量
Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics
JIS B 8328:2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- JIS B 8328:2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS B 8328:2009
- 引用标准
- JIS Z 8126-2
- 本标准规定了涡轮分子泵性能特性的测量方法。
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