GB/T 24577-2009
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography
GBT24577-2009, GB24577-2009
说明：
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- 标准号
- GB/T 24577-2009
- 别名
- GBT24577-2009
GB24577-2009 - 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 1982-1103 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 24577-2009
- 引用标准
- ASTM D6196
- 1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。
1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。
1.3本标准的检测限范围取决于被检测的有机化合物，比如碳氢化合物(C
～C )的检测范围就是 10 g/cm ...
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