GB/T 24577-2009
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography
GB/T 24577-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 24577-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- ASTM D6196
- 适用范围
- 1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。
1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。
1.3本标准的检测限范围取决于被检测的有机化合物，比如碳氢化合物(C
～C )的检测范围就是 10 g/cm ～10 g/cm 。 1.4本标准适用于硅抛光片和有氧化层的硅片。 1.5本标准中包含了两种方法。方法A适用于切割后的硅片，方法B则适用于完整的硅片。两种方法的不同点在第7部分中有详细描述。
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