GB/T 16944-2009
电子工业用气体.氮

Gas for electronic industry.Nitrogen


GB/T 16944-2009 中,可能用到以下仪器

 

蒸发光散射检测器

蒸发光散射检测器

上海通微分析技术有限公司

 

激光 M 平方计

激光 M 平方计

北京欧兰科技发展有限公司

 

GB/T 16944-2009



标准号
GB/T 16944-2009
发布日期
2009年10月30日
实施日期
2010年05月01日
废止日期
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
发布单位
CN-GB
引用标准
GB 190-2009 GB/T 3723-1999 GB/T 3864-2008 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 14194-2006 GB 16912-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定
被代替标准
GB/T 16944-1997
适用范围
本标准规定了电子工业用气体氮技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。

GB/T 16944-2009系列标准


GB/T 16944-2009 中可能用到的仪器设备


谁引用了GB/T 16944-2009 更多引用





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